MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器

名稱：MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01

品牌：SST

AFE-01由四個鉑金薄膜電阻構成。阻抗低，加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個高阻抗電阻，用來檢測流速和流向。還有一個電阻用來檢測氣體的溫度。靠近加熱元件的兩個電阻連接成一個電橋。產生檢測流速和流向功能的一個輸出信號。沒有流量的情況下，這兩個電阻達到同樣的加熱狀態(tài)。當有流量存在時，其中一個電阻的溫度比另一個低很多，具體哪個電阻溫度變低由流向決定。溫度差可以測量得到，由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時間和響應時間非常短，因為它的熱質量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動速度，溫度傳感器可以與恒溫風速儀相連接。

優(yōu)勢

1、流向檢測

2、檢測小質量物體的流動

3、簡單的信號處理電路和標定

4、完全固定的機械元件

5、優(yōu)異的重復性

6、優(yōu)異的長期穩(wěn)定性

7、適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼

8、最優(yōu)的性價比

應用

1、差壓傳感器

2、HVAC和樓宇控制方案

3、醫(yī)療設備

4、汽車行業(yè)

5、設備檢測

技術指標

測量原理：熱量原理

檢測量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的電路為例）

靈敏度：0.001 m/s

精 度：< 2%測量值（取決于電路和標定）

響應時間：T63% < 0.5 S

溫度范圍：-20…… +150 °C

電氣連接：絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)

加熱元件：RH (25°C) = 34 □± 10%

檢測元件：Rs_i (25°C) = 425 □ ± 10%

參考元件：RR (25°C) = 710 □ ± 10%

供電電壓：一般為 2 …… 5 V（取決于氣體流速）

基片材料：低熱導陶瓷